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機臺名稱:多層爐無塵烤箱

應用范圍: FPD(STN-LCD、TFT-LCD、COLORFILTEP、TOUCH PANEL、OLED、PDP、ITOGlass保護膠烘烤等制程烘烤

性能特點:與機械手搭配分層取、放玻璃

潔凈度:class100#(FED-STD-209E潔凈標準等級)

均勻性:±3.0%(空載測試)

 

規格參數:

型號 KLMO-8 KLMO-9 KLMO-10
內尺寸W/D/Hmm 935/1390/926 935/1390/1235 935/1390/1800
外尺寸W/D/Hmm 2020/1730/2568 2020/1730/2580 2020/1730/3140
整機功率 AC 380V 36KW AC 380V 40KW AC380V 50KW
內箱層數 12 18 33
開啟門數 7 10 12
馬達位置 底部 頂部 底部
每層高度 55~60mm
溫度范圍 60~200℃(300℃)
基材尺寸 500*600~730*920mm
基板厚度 T=025mm~1.1mm
溫度均勻性 ±3.0%(空載測試)
第一層距地高度 1150mm
進氣量 N2或Clean AirMAX:25L/min
排氣口 手動風門
潔凈度 class1000#(FED-STD-209E潔凈標準等級)
內箱材質 SUS304#鏡面不銹鋼
外箱材質 SST41鋼板經過防銹處理后高溫粉體烤漆
電熱 采覆套式電熱器(SHEATHED HEATER)無塵化電熱發生器
配備 降溫風機、HEPAFilter、壓差計、流量計、方通層架
開門方式 私服+減速機+氣缸進行升降開啟門
控制箱 以上外尺寸均不含控制箱,控制箱可分體、連體設計

 

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